Gelişmiş Temiz Oda Altyapısı SUNUM’da: Yarı İletken Yeniliklerinde Öncü

Yarı iletkenler, modern elektroniğin temelini oluşturarak birçok sektörde teknolojik ilerlemelere yön vermektedir. Bu alanda ön sıralarda yer alan SUNUM, ileri düzey temiz oda ve mikro/nanofabrikasyon laboratuvarlarıyla dikkat çekmektedir.

Sabancı Üniversitesi Nanoteknoloji Araştırma ve Uygulama Merkezi (SUNUM), son teknoloji altyapısı ile hem akademik araştırmalar hem de endüstriyel geliştirmeler için kritik bir rol oynamakta ve yarı iletken teknolojisi ile nano-elektronik alanında öncü çalışmalara imkan tanımaktadır.

SUNUM’un Araştırma ve İnovasyondaki Ulusal Rolü

2010 yılında Sabancı Üniversitesi bünyesinde 35 milyon dolarlık bir yatırım ile kurulan SUNUM, Türkiye’nin önde gelen araştırma altyapılarından biri haline gelmiştir. 2017 itibarıyla Türkiye’deki dört Ulusal Araştırma Altyapısı’ndan biri olarak tanınan SUNUM, disiplinler arası araştırmaları ile teknolojiye önemli katkılar sağlamaktadır. Enerji, yaşam bilimleri, savunma ve nano-elektronik gibi sektörlere odaklanan SUNUM hem bölgesel ihtiyaçlara hem de küresel teknolojik trendlere uygun olanaklar sunmaktadır.

SUNUM’un yarı iletkenlere yönelik araştırmalarının merkezinde, uluslararası standartlara uygun temiz oda altyapısına sahip Mikro ve Nanofabrikasyon Laboratuvarı yer almaktadır.

Mikro ve Nanofabrikasyon Laboratuvarı: Amaçlar ve Yetkinlikler

Mikro ve Nanofabrikasyon Laboratuvarı’nın temiz odası, ISO 5, ISO 6 ve ISO 7 seviyelerinde (Class 100, Class 1.000 ve Class 10.000) çalışmaktadır. Bu sıkı kontroller, yarı iletken teknolojisi için gereken mikro ve nano ölçekli yapıların hassas bir şekilde üretilmesine olanak tanıyan kirleticisiz bir ortam sağlamaktadır.

Başlıca hedefler şunlardır:

• Organik/inorganik iletken, yalıtkan ve yarı iletken malzemelerin kaplanması.
• Nanometrelerden yüzlerce mikrometreye kadar işlevsel yapıların üretilmesi.
• Mikro ve nano sistemlere çok katmanlı analizler ve testlerin yapılması.

Bu ileri düzey altyapı, iletişim, savunma, sağlık ve enerji gibi birçok yüksek teknoloji uygulaması için prototip ve bileşen üretimini mümkün kılmaktadır.

Yarı İletken ve Nano Sistem Uygulamaları

SUNUM’un temiz odası, mikro ve nano ölçekli yarı iletken sistemlerin üretimi ve testinde kritik bir rol oynamaktadır. Başlıca uygulamalar:

• Kimyasal ve biyolojik sensörler için mikroakışkan devreler, örnek ayırıcılar ve karıştırıcılar.
• Çevresel ve biyolojik algılama için kapasitif sensörler ve Lab-on-a-Chip cihazları.
• İleri iletişim sistemleri için RF-MEMS devre elemanları (ör. filtreler ve rezonatörler).
• Savunma ve uzay uygulamaları için kızılötesi sensörler ve dedektörler.
• Yüksek hızlı veri aktarımı için optik devre elemanları (ör. rezonatörler, yansıtıcılar ve filtreler).
• Seyrüsefer sistemleri için jiroskoplar ve ivmeölçerler gibi eylemsizlik sensörleri.

Bu uygulamalar, yarı iletken endüstrisinde sensör hassasiyetini, enerji verimliliğini ve iletişim hızını artırmaya yönelik geliştirmelerin önemini vurgulamaktadır.

Hassasiyet ve Yenilik İçin Dünya Standartlarında Donanım

SUNUM’un temiz odası, ileri düzey yarı iletken cihazların üretimi ve testini destekleyen en son teknoloji ekipmanlarla donatılmıştır. Öne çıkan ekipmanlar şunlardır:

• KLA-Tencor P6 Yüzey Profili: Yüksek hassasiyetli yüzey karakterizasyonu.
• Vistec EBPG5000plusES Elektron Işın Litografi Sistemi: Nanometre ölçekli desenleme.
• Oxford PlasmaLab PECVD ve ICP Sistemleri: İleri düzey aşındırma ve malzeme kaplama.
• Torr E-ışın ve Termal Buharlaştırıcılar: Yarı iletken üretiminde hassas malzeme kaplama.
• Cascade Microtech PM5 ve CP4 Prob İstasyonları: Elektriksel testler.
• SSI Solaris Hızlı Termal İşlem Cihazı: Üretim sonrası malzeme özelliklerinin değiştirilmesi.

Bu ekipmanlar, malzemelerin atomik düzeyde hassas bir şekilde işlenmesine imkan tanıyarak, yüksek performanslı yarı iletken cihazların üretiminde kalite ve güvenilirlik standartlarını sağlamaktadır.

Temiz Oda Sınıflandırmaları: Yarı İletken Araştırmalarında Kritik Bir Unsur

SUNUM’un temiz oda altyapısının en dikkat çekici özelliklerinden biri, Class 100, Class 1.000 ve Class 10.000 standartlarına uyumudur. Bu, 0,5 mikron kadar küçük parçacıkların sıkı bir şekilde kontrol edildiği anlamına gelir ve yarı iletken üretiminde bu hassasiyet hayati öneme sahiptir.

Etki ve Gelecek Potansiyeli

SUNUM’un temiz odası ve Mikro & Nanofabrikasyon Laboratuvarı, yarı iletken teknolojisinde öncü araştırmaları desteklemeye devam etmektedir. Sağlık, enerji, savunma ve iletişim gibi sektörlerde nanosistemlerin üretim ve test olanakları ile SUNUM, geleceğin teknolojilerini şekillendiren önemli katkılarda bulunmaktadır.